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真空煅烧炉厂家谈主机与附件的关系

2022-02-14 08:05:09

真空煅烧炉厂家谈主机与附件的关系

  现在真空设备的应用领域愈来愈广,很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题,这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。
  这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不必要的损失。
  有一台专用设备,工作时发生放电现象,经过对工作记录的分析和与操编辑的交流,得出不同的结论,有人认为电源有问题,有人认为是装配过程的问题。对设备进行了拆卸,重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机,下半部的产品明显好于上半部的,靶的外表看不出什么问题来,拿高斯计一试,上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路,换了磁环,产品上下一致的问题得到了解决。

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  小漏和微漏就比较难查了,大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏,比如丙酮或乙醇,用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇,喷到漏点时,电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心,一定要等到电离计的示值稳定了,也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了,再喷射。反复几次,确认漏点。
  与主机配套的相关部件,有一台离子渗氮炉,工作一段时间后出了问题,设备没动,操作工艺没变,就是工件不能进行离子渗氮。
  用户和厂家查不出问题的所在,感到困惑。经过试验和查找,确定是配套的供气管路出了问题。用户用的是氧气管,用户认为氧气管耐正压没问题,耐负压也一定没问题;其实不然。换管后问题解决了。大家建议国内生产企业在生产主机的同时为用户提供相应的配套装置。有时配套装置出的问题会影响主机。

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